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三、隔膜压缩机发展态势与市场机遇
1、行业发展态势
1916年，法国工程师Henri Corblin（考比林）制造出世界上第一台隔膜压缩机，此后隔膜压缩机技术被法国Burton Corblin（考比林公司，后被英国豪顿集团收购）和美国PDC机械公司等欧美企业所垄断。20世纪60年代，北京第一通用机械厂制造出我国第一台隔膜压缩机，此后我国在隔膜压缩机的生产技术领域逐步取得突破，目前已能与前述国外著名厂商竞争。
按照应用环节划分，隔膜压缩机可分别应用于气体充装和气体使用环节。气体充装环节包括氢气充装和特种气体充装，气体使用环节包括化工、加氢站、军工、核电等领域。近年来，氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工、核电等隔膜压缩机应用广泛的行业均处于高速增长期，发展前景广阔，为隔膜压缩机产业的发展带来巨大机遇。根据高工产研数据，预计2025年和2030年，全球隔膜压缩机市场需求将分别达到211亿元和811亿元，2023年至2030年年均复合增长率36.90%，具有广阔的市场前景，见图3。
中国隔膜压缩机市场需求在产业升级步伐加快及“双碳”目标的推动下，预计将以更快的速度增长。据相关产研数据显示，预计2025年和2030年，国内隔膜压缩机市场需求将分别达到85亿元和356亿元，2023年至2030年年均复合增长率41.08%，呈现加速增长的发展态势，见图4。
2、行业面临的机遇与风险
（1）行业面临的机遇
①政策持续支持国内高端制造企业
隔膜压缩机下游应用领域广泛，涉及化工、能源、军工等多个关系国计民生的重要领域，是我国工业生产不可或缺的高端通用设备。近年来，国家持续支持国内高端制造产业的发展，着力提升高端设备的自主设计制造能力。
党的二十大报告明确提出，推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，巩固优势产业领先地位，在关系安全发展的领域加快补齐短板，提升战略性资源供应保障能力。面对全球贸易保护主义抬头和国际竞争加剧的局面，未来我国将持续加强对国产高端制造产业的支持，为隔膜压缩机产业发展提供良好的发展环境。
②“双碳”政策利好多个下游行业
2020年9月，在第75届联合国大会上正式宣布我国“双碳”目标，即力争在2030年前实现碳达峰，2060年前实现碳中和。中共中央、国务院印发的《关于完整准确全面贯彻新发展理念做好碳达峰碳中和工作的意见》以及各部门相继推出的《“十四五”可再生能源发展规划》、《关于促进新时代新能源高质量发展实施方案》、《关于完善能源绿色低碳转型体制机制和政策措施的意见》等文件均将锂电池、光伏、氢能、核能等作为实现“双碳”目标的重点发展行业。
隔膜压缩机是氢气和特种气体制备充装、锂电池上游氟化工、光伏和半导体产业上游硅化工、氢燃料电池汽车加氢站和核电站建设等领域的重要设备。这些行业的迅猛发展，带动隔膜压缩机产品技术的革新以及市场需求的大幅提升，为隔膜压缩机行业发展带来重要契机。
（2）行业面临的风险
①行业基础相对薄弱
虽然近年来国内隔膜压缩机行业发展迅速，技术水平和产业规模都有所提升，但由于发展时间较短等因素，行业基础较为薄弱。国外隔膜压缩机行业经历了多轮产业并购，目前国外领先的隔膜压缩机生产企业多为通用设备制造跨国龙头公司，产品种类丰富，资金和研发实力雄厚。我国隔膜压缩机厂商则多以隔膜压缩机产品为主，在技术积累、资本规模、品牌影响力等方面，与国外的领先企业相比仍存在一定的差距。
②专业人才较为紧缺
隔膜压缩机的研发设计涉及热力学、理论力学、材料力学、流体力学以及数学、机械、化学、计算机等多个专业领域，对研发人员的专业水平、复合知识背景以及技术经验要求较高。我国隔膜压缩机产业发展起步较晚，目前国内院校较少开设相关专业，隔膜压缩机细分领域科研人员也相对较少，在人才储备，特别是高端人才储备上具有滞后性。高端研发人才的紧缺可能对中国隔膜压缩机产业的发展带来不利影响。
3、行业主要壁垒
（1）技术与研发壁垒
隔膜压缩机是一种特殊结构的容积式压缩机，其研发设计涉及热力学、理论力学、材料力学、流体力学以及数学、机械、化学、计算机等多个专业领域，技术含量高，在型腔设计、膜片等核心零部件加工工艺等方面，对行业内企业的技术储备、经验积累、核心技术人员的技术水平均有较高要求。同时，隔膜压缩机通常用于对高纯度、稀有贵重、易燃易爆、有毒有害、具有腐蚀性或放射性及高压工业气体进行压缩，其下游客户对于产品的性能和可靠性要求较高，对行业内企业的技术水平和产品质量要求高于一般通用设备厂商。此外，隔膜压缩机具有较强的定制化特征，且其下游应用领域不断拓宽，对行业内企业的持续研发能力也提出了较高的要求。因此，隔膜压缩机行业存在较强的技术与研发壁垒。
（2）生产能力壁垒
隔膜压缩机下游行业近年来发展迅速，新增产线投资较多，产品需求量较大且对产品快速交付能力要求较高，产能规模大、具有稳定的产品交付能力的企业具有较强的竞争优势。此外，隔膜压缩机的工艺流程包括图纸设计、机加工、焊接、整机总装和试车等多个环节，生产工艺较为复杂，同时隔膜压缩机具有定制化、精密性的特征，生产过程中对于产品制造工艺的精度及规范性要求较高。因此，新进入厂商在缺乏长期的生产经验积累及较强的生产管理能力的情况下，难以仅靠大量新增购入厂房和生产设备或大量招聘生产工人而快速提升产能规模。因此，隔膜压缩机行业存在较强的生产能力壁垒。
（3）市场壁垒
隔膜压缩机产品具备专业属性强、定制化程度高、零部件复购率高等特点，在销售的前中后各环节均需为下游客户提供面对面、全方位的专业服务。营销能力及服务质量是决定厂商竞争力的重要因素，新进入厂商通常难以快速建立起高效的营销和服务网络，亦难以快速建立起一支具有行业经验和专业技术知识储备的销售人才队伍。同时，行业内已与客户建立较长合作关系的厂商对于客户的需求、应用领域等较为熟悉，双方默契度较高，具有较强的客户粘性。此外，由于隔膜压缩机下游氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工和核电等领域，对于产品质量和可靠性要求较高，产品故障带来的风险和损失较大，故客户使用新进入厂商产品的成本和风险较高。因此，隔膜压缩机行业存在较强的市场壁垒。
（4）资金壁垒
隔膜压缩机的体积和重量相对较大，搬运过程中需要使用较大规格的机械设备，对于厂房的面积、承重能力等要求较高；同时，隔膜压缩机涉及的生产工艺较多，生产设备投资需求较高，属于资金密集型行业，对于新进入厂商资金要求较高。此外，隔膜压缩机产品的交货周期和回款时间相对较长，对于企业流动资金的需求较高。因此，隔膜压缩机行业存在较强的资金壁垒。
4、行业在产业链中的作用地位及与上、下游行业间的关联性
隔膜压缩机行业企业从供应商处采购各类原材料，通过设计和加工，生产隔膜压缩机及其核心零部件，并将产品销往下游客户。隔膜压缩机行业产业链见图5。
隔膜压缩机行业企业向上游采购的原材料主要包括缸体缸盖毛坯、中体及曲轴箱等金属锻铸件，以及泵阀、电机、仪表、启动控制柜等其他部件。整体而言，目前我国相关上游行业市场发展较为成熟，供应商众多，产能充足，产品质量稳定，能够保障隔膜压缩机行业企业的采购需求。
隔膜压缩机具有不污染压缩介质、密封性好、压缩效率高、易实现高压压缩等优良特性，是下游氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工和核电等多个领域的重要设备。近年来，上述下游行业发展情况良好，带动隔膜压缩机行业快速发展。
四、隔膜压缩机应用与市场前景
1.气体充装领域
气体充装领域，隔膜压缩机主要应用于对气体纯度要求较高的氢气充装和特种气体充装领域，具体情况如下：
（1）氢气充装
氢气是一种重要的化工原料、工业气体以及清洁能源。在氢气储存环节中，高压气态氢气储存方式最为成熟和经济，是目前氢气储运的主要方式。该种方式需要使用压缩机对氢气加压从而使其以气态形式储存至特定容器中。其中，高纯度氢气通常使用对气体介质无污染的隔膜压缩机进行压缩充装。
①高纯度氢气需求快速增长
高纯度氢气广泛应用于电子半导体、精细化工、医药保健、食品等行业以及氢能领域，近年来发展速度较快，带动高纯度氢气制备充装产业快速发展，2021年我国高纯度氢气产能同比增长20%以上。未来，随着下游需求持续快速增长，高纯度氢气制备充装产业有望迎来加速发展期，见图6。
在电子半导体行业，高纯度氢气在电真空材料、集成电路、电子管、太阳能电池等制造领域作为还原剂或原料气等均有应用。半导体作为信息产业的核心，广泛应用于通信、计算机、消费电子、汽车、工业等领域，影响现代生活的方方面面，同时半导体行业是我国重点支持的战略新兴产业和“卡脖子”产业，随着我国不断加大对半导体行业的扶持力度，其发展速度逐步加快，2021年中国半导体行业市场规模为12190亿元，近三年复合增长率达14.43%，预计未来仍有望继续较快增长。同时，高纯度氢气还广泛应用于精细化工、医药保健、食品等行业，该等行业受益于我国产业转型升级和消费升级步伐的不断加快，均保持快速增长态势。
此外，高纯度氢气作为一种清洁能源在氢能领域的应用，具有广阔发展空间。在交通运输领域，近年来氢燃料电池汽车产销量不断取得突破，相关行业规范及配套设施建设逐步完善，发展态势良好，同时氢气作为燃料在船舶、航空器等领域的应用也得到国家政策大力支持，具有较高发展潜力；在储能领域，氢储能具有调节周期长、储能容量大等优势，“风光发电+氢储能”有望成为可再生能源一体化应用的新模式；在发电领域，氢气作为一种来源丰富、绿色低碳的二次能源，在分布式区域供电、备用电源、发电调峰等方面亦具有广阔的应用前景。
②制氢方式加速转变
目前我国氢气供应以煤制氢和天然气制氢为主，根据《氢能产业发展中长期规划（2021-2035年）》，至2025年我国将初步建立以工业副产氢和可再生能源制氢为主的氢能供应体系。
作为石化工业大国，我国工业副产氢供应潜力巨大，现有年副产氢供应潜力450万吨，在政策支持以及高纯度氢气需求不断提升的推动下，化工企业将工业副产氢提纯并储存利用的经济效益增强，工业副产氢的利用率有望进一步提升。
同时，未来随着我国水电、风电及光伏发电等可再生能源发电的成本进一步降低，水电解法等可再生能源制氢方式预计将取代化石能源制氢成为主要的氢气供给来源。预计2040年工业副产氢和可再生能源制氢将占氢气供给总量的一半，至2050年工业副产氢和可再生能源制氢将占氢气供给总量的70%。
工业副产和可再生能源所制备的氢气纯度相对较高，提纯成本相对较低，在下游高纯度氢气需求快速增长的推动作用下，该等氢气制备充装企业更倾向于采用隔膜压缩机对其制备的氢气进行压缩储存，工业副产制氢和可再生能源制氢装置的大量建设将成为隔膜压缩机产业发展的重要驱动力，见图7。
综上，受益于下游行业快速发展，高纯度氢气需求持续增长；同时在政策支持以及高纯度氢气需求不断提升的推动下，制氢方式加速转变，工业副产制氢和可再生能源制氢装置大量建设，推动氢气充装用隔膜压缩机需求迅速增长。
（2）特种气体充装
特种气体对纯度和密封性等要求极高，一旦其纯度或净度不达标，轻则影响下游产品质量，重则扩散污染整条产品线，因此特种气体制备充装企业通常选择密封性好且对介质无污染的隔膜压缩机作为气体充装压缩装置。特种气体种类繁多，下游应用领域广泛。其中，电子特气市场份额最大，是推动特种气体行业近年来快速发展的主要因素。半导体行业是电子特气下游应用第一大领域，占比超过62%。特种气体被应用于半导体生产中的清洗、刻蚀、光刻、外延、掺杂等多个核心工艺中，如在刻蚀工艺中作为刻蚀用气有选择地从硅片表面去除不需要的材料，在掺杂工艺中作为掺杂气体掺入半导体材料内以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率。因此，特种气体是半导体生产的重要原材料，占半导体生产所需原材料的15%。此外，特种气体还包括用于手术和医学研究的医疗气体、用于精密仪器校准测量的标准气体、用于国防军工建设的激光气体等，该等下游行业均服务于现代高端产业，具有良好的发展前景。同时，特种气体的国产化率近年来也得到大幅提升，根据智研咨询数据，2018至2020年我国特种气体国产化率由9%提升至14%，并预计将于2025年提升至25%。
综上，在半导体等下游行业旺盛的需求以及特种气体国产替代进程不断加快的推动作用下，我国特种气体行业规模快速增长，根据亿渡数据，近三年中国特种气体行业市场规模复合增长率为20.43%，并在未来几年将持续以20%左右的增长率快速增长，至2026年中国特种气体行业市场规模预计将达到808亿元。特种气体行业的快速发展有力拉动了特种气体充装用隔膜压缩机需求的增长，见图8。
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三、隔膜压缩机发展态势与市场机遇
1、行业发展态势
1916年，法国工程师Henri Corblin（考比林）制造出世界上第一台隔膜压缩机，此后隔膜压缩机技术被法国Burton Corblin（考比林公司，后被英国豪顿集团收购）和美国PDC机械公司等欧美企业所垄断。20世纪60年代，北京第一通用机械厂制造出我国第一台隔膜压缩机，此后我国在隔膜压缩机的生产技术领域逐步取得突破，目前已能与前述国外著名厂商竞争。
按照应用环节划分，隔膜压缩机可分别应用于气体充装和气体使用环节。气体充装环节包括氢气充装和特种气体充装，气体使用环节包括化工、加氢站、军工、核电等领域。近年来，氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工、核电等隔膜压缩机应用广泛的行业均处于高速增长期，发展前景广阔，为隔膜压缩机产业的发展带来巨大机遇。根据高工产研数据，预计2025年和2030年，全球隔膜压缩机市场需求将分别达到211亿元和811亿元，2023年至2030年年均复合增长率36.90%，具有广阔的市场前景，见图3。
中国隔膜压缩机市场需求在产业升级步伐加快及“双碳”目标的推动下，预计将以更快的速度增长。据相关产研数据显示，预计2025年和2030年，国内隔膜压缩机市场需求将分别达到85亿元和356亿元，2023年至2030年年均复合增长率41.08%，呈现加速增长的发展态势，见图4。
2、行业面临的机遇与风险
（1）行业面临的机遇
①政策持续支持国内高端制造企业
隔膜压缩机下游应用领域广泛，涉及化工、能源、军工等多个关系国计民生的重要领域，是我国工业生产不可或缺的高端通用设备。近年来，国家持续支持国内高端制造产业的发展，着力提升高端设备的自主设计制造能力。
党的二十大报告明确提出，推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，巩固优势产业领先地位，在关系安全发展的领域加快补齐短板，提升战略性资源供应保障能力。面对全球贸易保护主义抬头和国际竞争加剧的局面，未来我国将持续加强对国产高端制造产业的支持，为隔膜压缩机产业发展提供良好的发展环境。
②“双碳”政策利好多个下游行业
2020年9月，在第75届联合国大会上正式宣布我国“双碳”目标，即力争在2030年前实现碳达峰，2060年前实现碳中和。中共中央、国务院印发的《关于完整准确全面贯彻新发展理念做好碳达峰碳中和工作的意见》以及各部门相继推出的《“十四五”可再生能源发展规划》、《关于促进新时代新能源高质量发展实施方案》、《关于完善能源绿色低碳转型体制机制和政策措施的意见》等文件均将锂电池、光伏、氢能、核能等作为实现“双碳”目标的重点发展行业。
隔膜压缩机是氢气和特种气体制备充装、锂电池上游氟化工、光伏和半导体产业上游硅化工、氢燃料电池汽车加氢站和核电站建设等领域的重要设备。这些行业的迅猛发展，带动隔膜压缩机产品技术的革新以及市场需求的大幅提升，为隔膜压缩机行业发展带来重要契机。
（2）行业面临的风险
①行业基础相对薄弱
虽然近年来国内隔膜压缩机行业发展迅速，技术水平和产业规模都有所提升，但由于发展时间较短等因素，行业基础较为薄弱。国外隔膜压缩机行业经历了多轮产业并购，目前国外领先的隔膜压缩机生产企业多为通用设备制造跨国龙头公司，产品种类丰富，资金和研发实力雄厚。我国隔膜压缩机厂商则多以隔膜压缩机产品为主，在技术积累、资本规模、品牌影响力等方面，与国外的领先企业相比仍存在一定的差距。
②专业人才较为紧缺
隔膜压缩机的研发设计涉及热力学、理论力学、材料力学、流体力学以及数学、机械、化学、计算机等多个专业领域，对研发人员的专业水平、复合知识背景以及技术经验要求较高。我国隔膜压缩机产业发展起步较晚，目前国内院校较少开设相关专业，隔膜压缩机细分领域科研人员也相对较少，在人才储备，特别是高端人才储备上具有滞后性。高端研发人才的紧缺可能对中国隔膜压缩机产业的发展带来不利影响。
3、行业主要壁垒
（1）技术与研发壁垒
隔膜压缩机是一种特殊结构的容积式压缩机，其研发设计涉及热力学、理论力学、材料力学、流体力学以及数学、机械、化学、计算机等多个专业领域，技术含量高，在型腔设计、膜片等核心零部件加工工艺等方面，对行业内企业的技术储备、经验积累、核心技术人员的技术水平均有较高要求。同时，隔膜压缩机通常用于对高纯度、稀有贵重、易燃易爆、有毒有害、具有腐蚀性或放射性及高压工业气体进行压缩，其下游客户对于产品的性能和可靠性要求较高，对行业内企业的技术水平和产品质量要求高于一般通用设备厂商。此外，隔膜压缩机具有较强的定制化特征，且其下游应用领域不断拓宽，对行业内企业的持续研发能力也提出了较高的要求。因此，隔膜压缩机行业存在较强的技术与研发壁垒。
（2）生产能力壁垒
隔膜压缩机下游行业近年来发展迅速，新增产线投资较多，产品需求量较大且对产品快速交付能力要求较高，产能规模大、具有稳定的产品交付能力的企业具有较强的竞争优势。此外，隔膜压缩机的工艺流程包括图纸设计、机加工、焊接、整机总装和试车等多个环节，生产工艺较为复杂，同时隔膜压缩机具有定制化、精密性的特征，生产过程中对于产品制造工艺的精度及规范性要求较高。因此，新进入厂商在缺乏长期的生产经验积累及较强的生产管理能力的情况下，难以仅靠大量新增购入厂房和生产设备或大量招聘生产工人而快速提升产能规模。因此，隔膜压缩机行业存在较强的生产能力壁垒。
（3）市场壁垒
隔膜压缩机产品具备专业属性强、定制化程度高、零部件复购率高等特点，在销售的前中后各环节均需为下游客户提供面对面、全方位的专业服务。营销能力及服务质量是决定厂商竞争力的重要因素，新进入厂商通常难以快速建立起高效的营销和服务网络，亦难以快速建立起一支具有行业经验和专业技术知识储备的销售人才队伍。同时，行业内已与客户建立较长合作关系的厂商对于客户的需求、应用领域等较为熟悉，双方默契度较高，具有较强的客户粘性。此外，由于隔膜压缩机下游氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工和核电等领域，对于产品质量和可靠性要求较高，产品故障带来的风险和损失较大，故客户使用新进入厂商产品的成本和风险较高。因此，隔膜压缩机行业存在较强的市场壁垒。
（4）资金壁垒
隔膜压缩机的体积和重量相对较大，搬运过程中需要使用较大规格的机械设备，对于厂房的面积、承重能力等要求较高；同时，隔膜压缩机涉及的生产工艺较多，生产设备投资需求较高，属于资金密集型行业，对于新进入厂商资金要求较高。此外，隔膜压缩机产品的交货周期和回款时间相对较长，对于企业流动资金的需求较高。因此，隔膜压缩机行业存在较强的资金壁垒。
4、行业在产业链中的作用地位及与上、下游行业间的关联性
隔膜压缩机行业企业从供应商处采购各类原材料，通过设计和加工，生产隔膜压缩机及其核心零部件，并将产品销往下游客户。隔膜压缩机行业产业链见图5。
隔膜压缩机行业企业向上游采购的原材料主要包括缸体缸盖毛坯、中体及曲轴箱等金属锻铸件，以及泵阀、电机、仪表、启动控制柜等其他部件。整体而言，目前我国相关上游行业市场发展较为成熟，供应商众多，产能充足，产品质量稳定，能够保障隔膜压缩机行业企业的采购需求。
隔膜压缩机具有不污染压缩介质、密封性好、压缩效率高、易实现高压压缩等优良特性，是下游氢气和特种气体制备充装、化工、加氢站、军工和核电等多个领域的重要设备。近年来，上述下游行业发展情况良好，带动隔膜压缩机行业快速发展。
四、隔膜压缩机应用与市场前景
1.气体充装领域
气体充装领域，隔膜压缩机主要应用于对气体纯度要求较高的氢气充装和特种气体充装领域，具体情况如下：
（1）氢气充装
氢气是一种重要的化工原料、工业气体以及清洁能源。在氢气储存环节中，高压气态氢气储存方式最为成熟和经济，是目前氢气储运的主要方式。该种方式需要使用压缩机对氢气加压从而使其以气态形式储存至特定容器中。其中，高纯度氢气通常使用对气体介质无污染的隔膜压缩机进行压缩充装。
①高纯度氢气需求快速增长
高纯度氢气广泛应用于电子半导体、精细化工、医药保健、食品等行业以及氢能领域，近年来发展速度较快，带动高纯度氢气制备充装产业快速发展，2021年我国高纯度氢气产能同比增长20%以上。未来，随着下游需求持续快速增长，高纯度氢气制备充装产业有望迎来加速发展期，见图6。
在电子半导体行业，高纯度氢气在电真空材料、集成电路、电子管、太阳能电池等制造领域作为还原剂或原料气等均有应用。半导体作为信息产业的核心，广泛应用于通信、计算机、消费电子、汽车、工业等领域，影响现代生活的方方面面，同时半导体行业是我国重点支持的战略新兴产业和“卡脖子”产业，随着我国不断加大对半导体行业的扶持力度，其发展速度逐步加快，2021年中国半导体行业市场规模为12190亿元，近三年复合增长率达14.43%，预计未来仍有望继续较快增长。同时，高纯度氢气还广泛应用于精细化工、医药保健、食品等行业，该等行业受益于我国产业转型升级和消费升级步伐的不断加快，均保持快速增长态势。
此外，高纯度氢气作为一种清洁能源在氢能领域的应用，具有广阔发展空间。在交通运输领域，近年来氢燃料电池汽车产销量不断取得突破，相关行业规范及配套设施建设逐步完善，发展态势良好，同时氢气作为燃料在船舶、航空器等领域的应用也得到国家政策大力支持，具有较高发展潜力；在储能领域，氢储能具有调节周期长、储能容量大等优势，“风光发电+氢储能”有望成为可再生能源一体化应用的新模式；在发电领域，氢气作为一种来源丰富、绿色低碳的二次能源，在分布式区域供电、备用电源、发电调峰等方面亦具有广阔的应用前景。
②制氢方式加速转变
目前我国氢气供应以煤制氢和天然气制氢为主，根据《氢能产业发展中长期规划（2021-2035年）》，至2025年我国将初步建立以工业副产氢和可再生能源制氢为主的氢能供应体系。
作为石化工业大国，我国工业副产氢供应潜力巨大，现有年副产氢供应潜力450万吨，在政策支持以及高纯度氢气需求不断提升的推动下，化工企业将工业副产氢提纯并储存利用的经济效益增强，工业副产氢的利用率有望进一步提升。
同时，未来随着我国水电、风电及光伏发电等可再生能源发电的成本进一步降低，水电解法等可再生能源制氢方式预计将取代化石能源制氢成为主要的氢气供给来源。预计2040年工业副产氢和可再生能源制氢将占氢气供给总量的一半，至2050年工业副产氢和可再生能源制氢将占氢气供给总量的70%。
工业副产和可再生能源所制备的氢气纯度相对较高，提纯成本相对较低，在下游高纯度氢气需求快速增长的推动作用下，该等氢气制备充装企业更倾向于采用隔膜压缩机对其制备的氢气进行压缩储存，工业副产制氢和可再生能源制氢装置的大量建设将成为隔膜压缩机产业发展的重要驱动力，见图7。
综上，受益于下游行业快速发展，高纯度氢气需求持续增长；同时在政策支持以及高纯度氢气需求不断提升的推动下，制氢方式加速转变，工业副产制氢和可再生能源制氢装置大量建设，推动氢气充装用隔膜压缩机需求迅速增长。
（2）特种气体充装
特种气体对纯度和密封性等要求极高，一旦其纯度或净度不达标，轻则影响下游产品质量，重则扩散污染整条产品线，因此特种气体制备充装企业通常选择密封性好且对介质无污染的隔膜压缩机作为气体充装压缩装置。特种气体种类繁多，下游应用领域广泛。其中，电子特气市场份额最大，是推动特种气体行业近年来快速发展的主要因素。半导体行业是电子特气下游应用第一大领域，占比超过62%。特种气体被应用于半导体生产中的清洗、刻蚀、光刻、外延、掺杂等多个核心工艺中，如在刻蚀工艺中作为刻蚀用气有选择地从硅片表面去除不需要的材料，在掺杂工艺中作为掺杂气体掺入半导体材料内以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率。因此，特种气体是半导体生产的重要原材料，占半导体生产所需原材料的15%。此外，特种气体还包括用于手术和医学研究的医疗气体、用于精密仪器校准测量的标准气体、用于国防军工建设的激光气体等，该等下游行业均服务于现代高端产业，具有良好的发展前景。同时，特种气体的国产化率近年来也得到大幅提升，根据智研咨询数据，2018至2020年我国特种气体国产化率由9%提升至14%，并预计将于2025年提升至25%。
综上，在半导体等下游行业旺盛的需求以及特种气体国产替代进程不断加快的推动作用下，我国特种气体行业规模快速增长，根据亿渡数据，近三年中国特种气体行业市场规模复合增长率为20.43%，并在未来几年将持续以20%左右的增长率快速增长，至2026年中国特种气体行业市场规模预计将达到808亿元。特种气体行业的快速发展有力拉动了特种气体充装用隔膜压缩机需求的增长，见图8。
注：本文未完待续，更多精彩见下期！
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